就在日前，半导体设备大厂荷兰商阿斯麦 (ASML) 在财报会议上表示，2019 年 ASML 将把极紫外光刻机 (EUV) 的年出货量从 18 台，提升到30 台之后，现有国外媒体报导，晶圆代工龙头台积电将抢下这 30 台 EUV 中过半的 18 台数量，这也将使得台积电在 2019 年第 1 季中可以顺利启动内含 EUV 技术的 7 纳米加强版制程。
国外媒体 《Electronics Weekly》 引用来自供应链的最新消息表示，台积电将吃下 ASML 在 2019 年 EUV 光刻机 30 台出货量中的 18 台。这也使得台积电在加上先前的 EUV 设备之后，可以在 2019 年第 1 季启动内含 EUV 技术的 7 纳米加强版制程量产，这也将推动 7 纳米在其 2019 年晶圆销售中占比，从 2018 年的 9%，提升到 25% 的规模。
目前，台积电首代的 7 纳米制程的芯片，包括了有苹果的 A12、华为麒麟 980 等移动处理器。台积电的首代 7 纳米制程采用的 DUV 技术，在目前 DUV 技术在 7 纳米制程已经使用到极限的情况下，已经无法满足更先进的制程技术需求。因此，此次台积电大吃 EUV 光刻机数量，为的应该是就是加速内含 EUV 技术的 7 纳米加强版制程量产之外，还有就是之后 5 纳米，甚至更先进的制程技术打下基础。
事实上，之前台积电总裁魏哲家在法说会上就曾经表示，2019 年上半年将流片 5 纳米制程，2020 年上半年则将正式量产 5 纳米制程。对此，相关知情人士也透露，台积电将成为苹果公司 2019 年 iPhone 系列手机所用的 A13 处理器独家供应商，并且将在 2019 年第 2 季使用内含 EUV 技术的 7 纳米加强版制程来量产 A13 处理器，这或许也是台积电积极购买 EUV 设备重要因素。