您现在的位置：首页 / 资讯中心 / 产业资讯

推迟EUV设备交货？ASML与中芯国际表态

日期： 2019-11-12

浏览次数: 204

近日，据日经亚洲评论报道称，荷兰EUV（极紫外线）光刻机供应商ASML将推迟对晶圆代工厂商中芯国际的交付出货。

不过，随后ASML和中芯国际对此均表示否定。

ASML回应称，“ASML延迟中芯国际EUV设备出货”这一说法有误，公司对于全球客户一视同仁。ASML表示，根据瓦纳森协议，ASML出口EUV设备到中国需要获得荷兰政府的出口许可，而这一许可已于今年到期，ASML已在到期前重新申请了出口许可，目前正在等待荷兰政府审核批准。

至于何时能拿到许可证，ASML相关负责人表示，目前处于正常的流程状态中，尚未掌握确切的时间。

此外，中芯国际也回应称，“极紫外光（EUV）还在纸面工作阶段，未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前，研发与生产的连结一切正常，客户与设备导入正常运作。”

据悉，中芯国际于去年5月向ASML订购了一台价值1.2亿美元的EUV光刻机。

来源：全球半导体观察

版权归原作者所有，如涉及版权等问题，请联系删除。

【关闭窗口】【打印】

分享到：

联系我们关于我们 / contact us

国家工业信息安全发展研究中心

010-68668488 icipa@ccwre.com.cn

86 0755-2788 8009

北京市石景山区鲁谷路35号冠辉大厦12楼

该平台是面向全球、服务全国的，产业化、国际化综合性知识产权创新平台，采用五横两纵架构，不仅实现了对科技资源的有效整合，而且为创新服务业务应用系统提供了安全稳定运行的平台，通过基础设施、数据资源库、应用支撑、安全保障和综合管理五个层面，支撑信息资源共享服务子平台、产业创新大数据服务子平台、现代知识产权综合管理子平台、知识产权运营与金融服务子平台、知识产权托管子平台等五大子平台10多个系统的运行，并依托统一门户网站为用户提供“一站式”服务。

Links / 友情链接:

更多>>

京ICP备18044172号

犀牛云提供企业云服务