推迟EUV设备交货?ASML与中芯国际表态

日期: 2019-11-12
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近日,据日经亚洲评论报道称,荷兰EUV(极紫外线)光刻机供应商ASML将推迟对晶圆代工厂商中芯国际的交付出货。


不过,随后ASML和中芯国际对此均表示否定。


ASML回应称,“ASML延迟中芯国际EUV设备出货”这一说法有误,公司对于全球客户一视同仁。ASML表示,根据瓦纳森协议,ASML出口EUV设备到中国需要获得荷兰政府的出口许可,而这一许可已于今年到期,ASML已在到期前重新申请了出口许可,目前正在等待荷兰政府审核批准。


至于何时能拿到许可证,ASML相关负责人表示,目前处于正常的流程状态中,尚未掌握确切的时间。


此外,中芯国际也回应称,“极紫外光(EUV)还在纸面工作阶段,未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前,研发与生产的连结一切正常,客户与设备导入正常运作。”


据悉,中芯国际于去年5月向ASML订购了一台价值1.2亿美元的EUV光刻机。


来源:全球半导体观察

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