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极紫外光刻技术专利分析来了

数据显示，2019年我国集成电路（IC）进口金额达3055.5亿美元，约占全部进口总额的2.1%，集成电路已连续十年成为我国第一大宗进口商品，其中大部分为高端芯片。而高端光刻机是半导体产业链中技术含量最高、最核心、最关键的设备，是生产高端芯片的“制器之器”，被誉为“半导体工业皇冠上的明珠”。能否在这一领域实现重大突破，关系到我国半导体行业能否从根本上扭转“卡脖子”被动地位，从而将行业未来发展的主动权掌握在自己手中。本文基于专利文献，全面研究了生产高端芯片的极紫外（EUV）光刻技术的整体专利态势，以期对行业技术发展有所参考。全球申请态势　　EUV光刻技术于上世纪80年代由日本的H.Kinoshita首先提出并完成原理验证，它采用的EUV光波长为13.5nm，经过业界30多年持续的投入和研究，终于在2015年由荷兰的阿斯麦尔（下称ASML）公司量产了世界上第一台成熟的EUV光刻机（NXE:3400B）。由于传统的透射型光学器件对于EUV光存在强烈的吸收效应，为克服该吸收效应，包括照明系统和物镜系统在内的EUV光学系统需采用反射式结构，且需要光学薄膜、光学材料、光刻胶等都发生相应的变革，相当于对整个投影光刻技术的一次重塑。EUV光刻技术在具有极高技术难度的同时，其优势也是显而易见的：其工作波长仅为ArF准分子激光器的1/14，根据瑞丽公式，这将大大增加光刻分辨率，一方面可以允许工艺因子K...

发布时间 : 2020 - 12 - 22

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重磅！10nm及以下制程禁运！

当地时间 2020 年12月18日，美国商务部发布公告称，将中芯国际列入实体名单！根据公告细则，中芯国际在10nm或以下先进技术节点面临全面封禁！同时，美国商务部还表示，实体清单未来还将添加77家中国企业及个人。借口是，这些实体存在所谓“违反美国国家安全或外交政策利益的行动”。究竟哪些行动是“违反美国国家安全或外交政策利益的行动”呢？公告声称，这些行动包括在中国境内“侵犯人权”；支持南海岛礁“军事化以及“在南海非法的海洋权益主张””；购买原产于美国的产品以支持中国人民解放军项目，以及参与窃取美国贸易机密。最后一项的制裁对象既有实体，也包括个人。根据美国商务部公布的“实体清单”显示，除中国内地以外，保加利亚、法国、德国、意大利、阿联酋、俄罗斯、巴基斯坦、中国香港等国家和地区的实体也被列入所谓的清单中。此前，路透社于当地时间周四（17日）报道称，有知情人士透露，美国将在周五将数十家中国企业列入贸易黑名单。路透社指出，这一此前从未被报道过的举动，被视为美国总统特朗普巩固其对华强硬政策遗产的最新努力。商务部新闻发言人就美商务部将59家中国实体列入出口管制“实体清单”应询答记者问：美国再次动用国家力量打压中国企业，中方对此坚决反对，将采取必要措施，坚决维护中国企业合法权益。美方泛化国家安全，不断滥用出口管制等措施对他国企业、机构和个人持续进行打压，对国际经贸秩序和自由贸易规则造成严重破坏，对...

发布时间 : 2020 - 12 - 21

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大疆回应被列入「实体清单」：依然可以在美国销售

北京时间 12 月 18 日深夜，美国商务部网站再次发布公告称，美国商务部工业与安全局（BIS）将 77 个实体列入「实体清单」。其中，中国企业、高校、个人占据很大一部分比例，包括大家熟知的大疆创新、北京理工大学、北京邮电大学、中国交通建设股份有限公司等等。本次最新更新的「实体清单」势必对这些企业、机构正常经营产生巨大影响。事实上，大疆被列入「实体清单」早有征兆。早在 2017 年起，大疆就数次收到美国监管层的警告。2017 年 8 月，美国陆军实验室和美国海军发现大疆无人机存在「作战风险」（收集地理资讯、影音等敏感资料），要求美军停止、移除大疆设备，卸除电池、存储媒介。2019 年 5 月，美国国土安全部表示，对大疆无人机收集数据安全性表示强烈关注。同年，出于对敏感数据泄露、数据安全的担忧，美国政府禁止美国联邦机构购买被确认具有「安全威胁」国家制造的无人机，并禁止使用联邦资金购买大疆无人机。11 月，美国内政部移除了约 800 架无人机。与华为相似，美国对大疆的不信任由来已久。对此，大疆创新公关总监谢阗地回应称：目前，只知道大疆可以在美国继续销售，其他影响没有人可以回答。当然，「实体清单」和以往限制的约束力不太一样，具体怎么约束，还需要过几天再看看。

发布时间 : 2020 - 12 - 21

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2024年1-5月电子信息制造业运行情况

1-5月，我国电子信息制造业生产稳步增长，出口稳定恢复，效益逐月改善，投资增速加快，行业整体增势明显。一、生产稳步增长1-5月，规模以上电子信息制造业增加值同比增长13.8%，增速分别比同期工业、高技术制造业高7.6个和5.1个百分点。5月份，规模以上电子信息制造业增加值同比增长14.5%。图1 电子信息制造业和工业增加值累计增速1-5月，主要产品中，手机产量6.2亿台，同比增长10.6%，其中智能手机产量4.6亿台，同比增长12%；微型计算机设备产量1.28亿台，同比增长1.9%；集成电路产量1703亿块，同比增长32.7%。二、出口稳定恢复1-5月，规模以上电子信息制造业累计出口交货值同比增长0.7%，较1-4月提高0.5个百分点，比同期工业低2.3个百分点。5月份，规模以上电子信息制造业出口交货值同比增长1.7%。图2 电子信息制造业和工业出口交货值累计增速据海关统计，1-5月，我国出口笔记本电脑5556万台，同比增长5.6%；出口手机3亿台，同比增长4.7%；出口集成电路1139亿个，同比增长10.5%。三、效益逐月改善1-5月，规模以上电子信息制造业实现营业收入5.95万亿元，同比增长8.5%，较1-4月提高0.6个百分点；营业成本5.22万亿元，同比增长7.9%；实现利润总额1946亿元，同比增长56.8%；营业收入利润率为3.3%，较1-4月增...

发布时间 : 2024 - 07 - 11

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2024年1-4月电子信息制造业运行情况

1-4月份，我国电子信息制造业生产稳步增长，出口恢复向好，效益持续改善，投资保持较快增长，行业整体增势明显。一、生产稳步增长1-4月份，规模以上电子信息制造业增加值同比增长13.6%，增速分别比同期工业、高技术制造业高7.3个和5.2个百分点。4月份，规模以上电子信息制造业增加值同比增长15.6%。图1 电子信息制造业和工业增加值累计增速1-4月份，主要产品中，手机产量4.96亿台，同比增长12.6%，其中智能手机产量3.67亿台，同比增长14.1%；微型计算机设备产量1.0亿台，同比增长3.4%；集成电路产量1354亿块，同比增长37.2%。二、出口恢复向好1-4月份，规模以上电子信息制造业出口交货值同比增长0.2%，较一季度提高2.8个百分点，比同期工业低2.3个百分点。4月份，规模以上电子信息制造业出口交货值同比增长8.4%。图2 电子信息制造业和工业出口交货值累计增速据海关统计，1-4月份，我国出口笔记本电脑4401万台，同比增长9.6%；出口手机2.41亿台，同比增长4.6%；出口集成电路887亿个，同比增长8.5%。三、效益持续改善1-4月份，规模以上电子信息制造业实现营业收入4.67万亿元，同比增长7.9%，较一季度回落1.2个百分点；营业成本4.09万亿元，同比增长7.3%；实现利润总额1442亿元，同比增长75.8%；营业收入利润率为3.1...

发布时间 : 2024 - 06 - 05

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2024年1-4月份软件业经济运行情况

1－4月份，我国软件和信息技术服务业（以下简称“软件业”）运行态势平稳，软件业务收入保持较快增长，利润总额两位数增长，软件业务出口降幅收窄。一、总体运行情况软件业务收入保持较快增长。1－4月份，我国软件业务收入3.8万亿元，同比增长11.6%。图1 软件业务收入增长情况利润总额两位数增长。1－4月份，软件业利润总额4314亿元，同比增长14.3%。图2 软件业利润总额增长情况软件业务出口降幅收窄。1－4月份，软件业务出口154.9亿美元，同比下降0.4%。图3 软件业务出口增长情况二、分领域运行情况软件产品收入平稳增长。1－4月份，软件产品收入9127亿元，同比增长8.7%，占全行业收入的比重为24.1%。其中，工业软件产品收入846亿元，同比增长8.7%。信息技术服务收入较快增长。1－4月份，信息技术服务收入24983亿元，同比增长13.2%，在全行业收入中占比为65.9%。其中，云计算、大数据服务共实现收入4107亿元，同比增长14.3%，占信息技术服务收入的比重为16.4%；集成电路设计收入989亿元，同比增长11.3%；电子商务平台技术服务收入2880亿元，同比增长4.5%。信息安全收入稳步增长。1－4月份，信息安全产品和服务收入520亿元，同比增长9.3%。嵌入式系统软件收入平稳增长。1－4月份...

发布时间 : 2024 - 06 - 05

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2024年一季度软件业经济运行情况

一季度，软件和信息技术服务业（以下简称“软件业”）运行态势良好，业务收入保持两位数增长，利润总额增速小幅提高，信息技术服务等领域收入增势良好。一、总体运行情况软件业务收入保持两位数增长。一季度，软件业务收入28020亿元，同比增长11.9%，增速与1—2月份持平。图1 软件业务收入增长情况利润总额增速小幅提高。一季度，软件业利润总额3188亿元，同比增长13.8%，增速较1—2月份提高2.3个百分点。图2 软件业利润总额增长情况软件业务出口有所下滑。一季度，软件业务出口115.6亿美元，同比下降3.3%，降幅较1—2月份扩大3个百分点。图3 软件业务出口增长情况二、分领域运行情况软件产品收入稳步增长。一季度，软件产品收入6833亿元，同比增长9.4%，占全行业收入的比重为24.4%。其中，工业软件产品收入612亿元，同比增长10.8%。信息技术服务收入保持较快增长。一季度，信息技术服务收入18412亿元，同比增长12.9%，在全行业收入中占比为65.7%。其中，云计算、大数据服务共实现收入3047亿元，同比增长11.9%，占信息技术服务收入的比重为16.5%；集成电路设计收入736亿元，同比增长16.3%；电子商务平台技术服务收入2188亿元，同比增长4.7%。信息安全收入平稳...

发布时间 : 2024 - 05 - 09

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2024年一季度电子信息制造业运行情况

一季度，我国电子信息制造业生产稳步增长，出口持续回升，效益继续改善，投资保持较高增速，地区间营收分化明显。一、生产稳步增长一季度，规模以上电子信息制造业增加值同比增长13%，增速分别比同期工业、高技术制造业高6.9个和5.5个百分点。3月份，规模以上电子信息制造业增加值同比增长10.6%。图1 电子信息制造业和工业增加值累计增速一季度，主要产品中，手机产量3.74亿台，同比增长13.6%，其中智能手机产量2.76亿台，同比增长16.7%；微型计算机设备产量7404万台，同比下降0.8%；集成电路产量981亿块，同比增长40%。二、出口持续回升一季度，规模以上电子信息制造业累计实现出口交货值同比下降2.6%，较1—2月份提高2.2个百分点，比同期工业低3.4个百分点。3月份，规模以上电子信息制造业实现出口交货值同比增长1.2%。图2 电子信息制造业和工业出口交货值累计增速据海关统计，一季度，我国出口笔记本电脑3232万台，同比增长11.5%；出口手机1.81亿台，同比增长6.3%；出口集成电路624亿个，同比增长3%。三、效益继续改善一季度，规模以上电子信息制造业实现营业收入3.44万亿元，同比增长6.7%，较1—2月份回落1.5个百分点；营业成本3.01万亿元，同比增长6%；实现利润总额1009亿元，同比增长82.5%；营业收入利润率为2.9%，较1—2月份增加0.9个...

发布时间 : 2024 - 05 - 09

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